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大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測(cè)儀品牌
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| 大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測(cè)儀 | |
| 型號(hào) | MMDI-2000-LA |
| 樣品尺寸 | ≤500mm x 500mm |
| 檢測(cè)模式 | 激光散射、光熱吸收、明場(chǎng)顯微成像、暗場(chǎng)顯微成像、激光共聚焦顯微 成像五種。可根據(jù)用戶需求定制不同組合模式 |
| 缺陷檢測(cè)靈敏度 | ≤0.3μm |
| 光熱吸收檢測(cè)靈敏度 | 10ppb |
| 光熱吸收缺陷檢測(cè)靈敏度 | ≤10μm |
| 光熱吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波長(zhǎng) |
| 顯微成像檢測(cè)橫向分辨率 | ≤1μm |
| 激光共聚焦缺陷檢測(cè)靈敏度 | ≤0.3μm |
| 激光共聚焦缺陷橫向分辨率 | ≤0.5μm |
| 激光共聚焦缺陷縱向分辨率 | ≤1μm |
大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測(cè)儀(MMDI-2000-LA)，結(jié)合全口徑缺陷快速識(shí)別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測(cè)方式，可利用激光散射對(duì)大口徑光學(xué)元件進(jìn)行全口徑快速掃描成像，對(duì)缺陷尺度、位置、形態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并結(jié)合使用光熱弱吸收、明場(chǎng)顯微成像、暗場(chǎng)顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態(tài)檢測(cè)用戶關(guān)注缺陷區(qū)域，獲得關(guān)注區(qū)域的缺陷信息。
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