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ATC-B系列 批量鍍膜系統(tǒng)品牌
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AJA的ATC-B系列批量鍍膜系統(tǒng)是定制化濺射和蒸發(fā)系統(tǒng)，可以處理小批量多種基片。根據(jù)用戶不同需求，可選擇圓柱腔體或箱式腔體結構。由于生長中材料不會落到基片或磁控濺射靶源里面(會造成短路和工藝中斷)，水平磁控濺射可以有效增加工藝次數(shù)。
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