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技術(shù)優(yōu)勢(shì)

分體式將電源與尾氣模塊、PM/TM/EFEM模塊做了分體式設(shè)計(jì)，方便用戶(hù)將電源與尾氣模塊單獨(dú)放入灰區(qū)或夾層區(qū)域。并可配合SMIF模塊和天車(chē)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)功能。

設(shè)備擁有完全獨(dú)立的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場(chǎng)控制技術(shù)，輔以全自動(dòng)上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤(pán)等手段，實(shí)現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長(zhǎng)時(shí)間多爐數(shù)連續(xù)自動(dòng)生長(zhǎng)控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢(shì)。

工藝性能

設(shè)備擁有完全獨(dú)立的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場(chǎng)控制技術(shù)，輔以全自動(dòng)上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤(pán)等手段，實(shí)現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長(zhǎng)時(shí)間多爐數(shù)連續(xù)自動(dòng)生長(zhǎng)控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢(shì)。設(shè)備擁有完全獨(dú)立的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場(chǎng)控制技術(shù)，輔以全自動(dòng)上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤(pán)等手段，實(shí)現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長(zhǎng)時(shí)間多爐數(shù)連續(xù)自動(dòng)生長(zhǎng)控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢(shì)。