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SSB300系列步進(jìn)光刻機品牌
上海微電子產(chǎn)地
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產(chǎn)品特征
高產(chǎn)率
SSB320和SSB380機型可提供53.5mm×33mm超大曝光視場，并配置了高速傳輸系統(tǒng)、高速高精度運動臺系統(tǒng)和高照度照明系統(tǒng)，實現(xiàn)高產(chǎn)率，顯著降低客戶擁有成本。
高分辨率
SSB300系列光刻機提供多種投影物鏡配置，分辨率可達(dá)到0.8~2μm，并具有大焦深和高線寬均勻性等特點，在大規(guī)模量產(chǎn)中有效提升產(chǎn)品良率。
高精度套刻
SSB300系列光刻機擁有高精度MVS對準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度工件臺定位系統(tǒng)和低畸變投影物鏡，保證了高精度套刻性能。其中對準(zhǔn)系統(tǒng)支持特征圖形標(biāo)記和光柵標(biāo)記，并可選配紅外或可見光背面對準(zhǔn)方式，滿足客制化需求。
工藝適應(yīng)性強
采用獨特的在線Mapping技術(shù)，快速準(zhǔn)確地擬合出基底面型，可有效增大工藝窗口。提供選配可變狹縫，可實現(xiàn)一塊掩模分為多個區(qū)域曝光，降低工藝研發(fā)費用，且與Aligner匹配時不增加額外芯片損失。
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