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主動(dòng)隔振系統(tǒng)（電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用）品牌
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αL4X-911R1的基本原理和功能
利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng)，通過(guò)6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制，由氣動(dòng)和線(xiàn)性馬達(dá)執(zhí)行器來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，滿(mǎn)足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。
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