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主要技術指標

Main Technical Index

• 晶棒直徑

  Φ350~Φ600mm

  切割進給速度

  5～20mm/min

• 晶棒材質

  單晶硅

  冷卻水流量

  <300L/h

• 晶棒長度

  200～1500mm

  壓空用量

  <60m3/h

• 晶棒平行度

  ≤0.5mm

  排水連接孔徑

  <Φ100mm

• 晶棒加工崩邊

  ≤5mm

  設備外形尺寸(長寬高)

  3800×1900×3150mm(長×寬×高)

• 切割表面質量

  Ra≤10μm

  設備重量

  6t

• 環(huán)形線直徑

  ≤0.65mm

  設備功率

  380V 7kW

設備優(yōu)勢

Machine tool edge

1、不同規(guī)格硅棒切換靈活，滿足直徑Φ350-600圓棒切割 ;

2、大裝載量，硅棒*長切割長度1500mm ;

3、硅棒支撐是采用粘料的形式以及浮動氣缸輔助支撐，可以保證截斷的崩邊量 ;

4、**可以50m/s 線速穩(wěn)定切割，保證切割質量 ;

5、環(huán)線切割表面質量好 ;

6、環(huán)線張力由伺服電機控制，張力大小可調 ;

7、主動輪、張力輪以及從動輪都有連接氣動潤滑，即保證內部的密封性，又保證了充分的潤滑，大大提高了軸承的使用壽命 ;

8、設備床身為焊接件，焊接后回火加工，剛性好，性能穩(wěn)定可靠 ;