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微波等離子模塊-遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)RPS品牌
奮羽電子產(chǎn)地
四川樣本
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遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)由微波源，等離子腔，自動調(diào)配器，環(huán)形器和導(dǎo)軌組成，有固態(tài)微波源和磁控管電源兩種版本可選，是等離子清洗設(shè)備、蝕刻設(shè)備、去膠設(shè)備和鍍膜設(shè)備的核心部件，搭載在等離子表面處理設(shè)備上通過把電能轉(zhuǎn)化為微波能將輸入氣體（Ar、O2、H2、CF4等）激發(fā)成物質(zhì)的第四種狀態(tài)-等離子狀態(tài)從而對目標(biāo)物質(zhì)的表面進(jìn)行污染物和氧化物清洗去膠蝕刻等處理，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造前后道工藝中對晶圓表面的處理，高價值無機材料金屬材料等的表面清潔。
| 項目 | 固態(tài)源版本 | 磁控管版本 |
| 輸出功率 | 3kW | 3kW |
| 輸出頻率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
| 頻率誤差 | ±50ppm | 2%-3% |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
| 供電電壓 | AC380V±10% | AC380V±10% |
| 供電頻率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
| 進(jìn)/出水口 | 1/8寶塔接頭 | DN15 |
| 冷卻方式 | 水冷（Φ10快插接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于 環(huán)境溫度時，兩者溫度差≤10°C） | 水冷（Φ10快插接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時，兩者溫度差≤10°C） |
| 控制接口 | RS485通信協(xié)議 | 具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1 |
| 工藝氣體 | Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料） | Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料） |
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