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d)膜厚修正板：0.005° e)擋板: position switch 3）光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS a) 波長(zhǎng)范圍：380nm～1650nm b) 光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% c) 波長(zhǎng)分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm d) 波長(zhǎng)準(zhǔn)確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
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