參考價格
面議型號
DSP EFEM設備品牌
日揚弘創(chuàng)產地
北京樣本
暫無看了DSP EFEM設備的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
外形尺寸:3830mm(W)x1990mm(L)x2770mm(H)
重復定位精度:±0.05mm
上料效率節(jié)拍:≤7s
下料效率節(jié)拍:≤7s
適用范圍:12 寸半導體硅片
設備針對12寸半導體硅片的拋光(Polishing)工序，是DSP工具的前端模塊EFEM)設備，實現(xiàn)自動上下料、檢查等功能。整個設備融合了晶圓裝載口、專用潔凈型機器人、視覺定位系統(tǒng)、梨痕檢測系統(tǒng)、自動讀碼功能、自動控制信息管理系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度自動取、放、翻轉等功能。設備通過陶瓷叉臂、橡膠吸盤及碳纖維抓手多種組合方式來實現(xiàn)裂紋檢測、自動上料及自動下料多種工況下的晶圓精準取放。
暫無數(shù)據(jù)！
DSP EFEM設備的工作原理介紹？DSP EFEM設備的使用方法？DSP EFEM設備多少錢一臺？DSP EFEM設備使用的注意事項DSP EFEM設備的說明書有嗎？DSP EFEM設備的操作規(guī)程有嗎？DSP EFEM設備的報價含票含運費嗎？DSP EFEM設備有現(xiàn)貨嗎？DSP EFEM設備包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
