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核心參數(shù)

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l 適用于Aixtron Gx 等單片式行星式轉(zhuǎn)盤系統(tǒng)

l 測(cè)溫波長(zhǎng)：940nm

l 測(cè)量反射率波長(zhǎng)：940nm, 633nm 或定制

l 曲率測(cè)量傳感器: CCD

l 測(cè)溫范圍: 450度-1450度

l 測(cè)量準(zhǔn)確度：±1度，重復(fù)性精度 <0.5度

l 一個(gè)溫度反射率測(cè)量通道，1個(gè)曲率測(cè)量通道（可配置多通道）

l 2點(diǎn)RTC探頭，同時(shí)測(cè)量溫度，反射率和曲率

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