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1、無刷伺服電機驅(qū)動，保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求。

2、 迷宮式氮氣密封，腔內(nèi)與腔外隔離，無接觸式密封效果，確保工藝環(huán)境要求。

3、 采用PTFE 氣控閥組件，PVDF 管路及接頭。

4、采用316L 不銹鋼材質(zhì)，表面電解拋光處理。

5、沖洗，吹凈，吹干，烘干功能，利用高速旋轉(zhuǎn)離心力，把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除，

同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走，使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈。

6、靜電消除功能，產(chǎn)品高速運動時會產(chǎn)生靜電，利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達到中和狀態(tài)。

7、機械自復(fù)位功能，停機待機片盒朝上。

8、氮氣壓力，門密封狀態(tài)，片盒朝上等條件保護。

9、 控制單元獨立控制，獨立運行，操作簡單，維修方便。