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熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF700品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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設(shè)備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備
設(shè)備型號(hào)：HF700
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷
真空腔室尺寸：Φ700mmxH700mm
真空系統(tǒng)：高真空泵組系統(tǒng)
基片臺(tái)尺寸：350mm2×350mm2 方形基片臺(tái)（旋轉(zhuǎn)、升降可選）
襯底溫度：600 ～ 1100℃
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