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W-380A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)品牌
鉑世光產(chǎn)地
上海樣本
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| 系統(tǒng)特點： |
| ·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來提高微波的均勻性 |
| ·穩(wěn)定沉積面積44cm2/80cm2 |
| ·**功率達到8KW/10KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用特殊鋁合金反應(yīng)腔，能耐高溫（碟形） |
| ·高壓力控制，產(chǎn)生高密度多模式等離子體（碟形） |
| ·使用高精度氣體質(zhì)量流量計，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng) |
| ·穩(wěn)定的微波輸入 |
| 設(shè)備的優(yōu)勢： |
| ·反應(yīng)可控，能長時間穩(wěn)定工作在8KW/10KW |
| ·所有電子設(shè)備中采用微波，沒有電極放電，沒有金屬污染 |
| ·參照C/H/O比例表，對反應(yīng)物有更大的選擇余地 |
| ·采用高效散熱的樣品臺，**散熱能力可達20KW以上 |
| ·高效率微波利用率，氫等離子體直接作用于樣品臺加熱時效率可達75%以上 |
| ·高可靠性，高實驗重復(fù)性，高設(shè)備耐久性 |
| ·簡捷的人機交互界面 |
| 應(yīng)用： |
| ·寶石 |
| ·復(fù)合熱沉片 |
| ·精密加工刀具刀頭 |
| ·紅外光學(xué)窗口 |
| ·半導(dǎo)體wafer |
| ·生物電極 |
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