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性能特點(diǎn)：
?是具有高度靈活性的微波等離子發(fā)生器 ?可以有效應(yīng)用在各種精密復(fù)雜的科研實(shí)驗(yàn)中 ?對(duì)于表面凈化、超細(xì)清洗和表面活化及實(shí)時(shí)樣品制備的分析方法多樣化應(yīng)用 ?是廣泛的操作范圍內(nèi)的氣體流量和微波功率等不可缺少的先決條件 |
主要技術(shù)參數(shù)：
輸出功率 | 260W － 1500W |
| 極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 氣體質(zhì)量流量控制 | 多路 |
暫無數(shù)據(jù)！
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