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Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測(cè)量速度:每個(gè)樣品<10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管(**1.5kW)
完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過(guò)3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類(lèi)似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
隨著動(dòng)力電池和新能源汽車(chē)的需求爆發(fā),鋰電正極材料也正在快速迭代,其中三元材料逐漸成為動(dòng)力電池的主流選擇。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法,化學(xué)分析過(guò)程相對(duì)復(fù)雜、分析時(shí)間長(zhǎng)、梯度稀釋誤
2021-08-06
本文摘要新款激光粒度儀- Mastersizer 3000+的推出,為對(duì)粒度分析感興趣的科學(xué)家和研究人員的研究工作提供了許多新的可能。但當(dāng)您想將方法從MS 3000轉(zhuǎn)移到MS 3000+時(shí),可能會(huì)產(chǎn)生
本文摘要2024年度的Malvern Panalytical Scientific Award授予了中國(guó)青年科學(xué)家——北京大學(xué)高磊博士。日前,高磊博士親臨馬爾文帕納科位于上海的亞太卓越應(yīng)用中心,現(xiàn)場(chǎng)接
在科研與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的過(guò)程中,作為核心生產(chǎn)研發(fā)設(shè)備的精密儀器,其先進(jìn)性及性能穩(wěn)定性
落地式XRD的維護(hù)保養(yǎng),可以分為用戶日常檢查和工程師上門(mén)維護(hù)保養(yǎng)。而使儀器盡可能的延長(zhǎng)正常工作時(shí)間,用戶對(duì)儀器的日常檢查就顯得尤為重要。今天,我們從每天必做的儀器檢查,給大家梳理一些日常維護(hù)技巧,讓您
本文摘要在使用XRD對(duì)樣品進(jìn)行物相鑒定或定量分析時(shí),會(huì)遇到檢測(cè)樣本中目標(biāo)成分含量極低,或樣本量本身就非常少的這兩種極端樣品情況。這時(shí),使用常量樣品的測(cè)試方法通常是不合適的,需要根據(jù)樣品的實(shí)際情況進(jìn)行方
本文摘要電極材料涂布的過(guò)程中,漿料的粘度和分散性非常重要,這些指標(biāo)會(huì)直接影響涂層厚度、均勻性、涂層密度,進(jìn)而影響生產(chǎn)效率和電池性能。形狀不規(guī)則的顆粒會(huì)造成堆積密度低,增加電極漿料的粘度,所以在電池材料