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主要技術(shù)參數(shù):
單工位磨拋**晶圓尺寸6英寸;
雙工位磨拋**晶圓尺寸4英寸;
盤速5-100rpm;
滴料1-100ml/min均勻可調(diào);雙蠕動泵供料;
擺臂擺動幅度0-15度可調(diào);擺臂擺動速度均勻可調(diào);
全液晶屏控制。
主要技術(shù)參數(shù):
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雙工位磨拋**晶圓尺寸4英寸;
盤速5-100rpm;
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