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高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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型號

高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

品牌

鵬城半導(dǎo)體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司

會員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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  • 誤差率:

    -
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高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(高真空鍍膜機(jī))采用電阻熱蒸發(fā)技術(shù),它是在高真空條件下,通過加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜。可用于生產(chǎn)和科學(xué)實驗,可根據(jù)用戶要求專門訂制;可用于材料的物理和化學(xué)研究;可用于制備金屬導(dǎo)電電極;可用于有機(jī)材料的物理化學(xué)性能研究實驗、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實驗、OLED實驗研究及有機(jī)太陽能薄膜電池研究實驗等。


設(shè)備構(gòu)成

-單鍍膜室

-單鍍膜室+進(jìn)樣室

-單鍍膜室+手套箱(可將鍍膜室放在手套箱內(nèi))

-單鍍膜室+進(jìn)樣室+手套箱(可將鍍膜室放在手套箱內(nèi))

-多鍍膜室+樣品傳遞室+手套箱(組成團(tuán)簇式結(jié)構(gòu),樣品傳遞采用真空機(jī)械手)

設(shè)備組成

電阻熱蒸發(fā)源組件、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測量系統(tǒng)、分子泵(或冷泵)真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、手套箱連接部件、樣品傳遞機(jī)構(gòu),膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。

熱蒸發(fā)源類型和數(shù)量,可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置。

可選件:膜厚監(jiān)控儀,恒溫制冷水箱。

熱蒸發(fā)源種類及配置

電阻熱蒸發(fā)源組件:數(shù)量:1~12套(可根據(jù)用戶要求配裝);

電阻熱蒸發(fā)源種類:鉭(鎢或鉬)金屬舟熱蒸發(fā)源組件、石英舟熱蒸發(fā)源組件、鎢極或鎢藍(lán)熱蒸發(fā)源組件、鉭爐熱蒸發(fā)源組件(配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝)、束源爐熱蒸發(fā)組件(配石英坩堝或氮化硼坩堝)。

高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(高真空鍍膜機(jī)) 工作條件(實驗室應(yīng)具備的設(shè)備工作條件)

供電:4kW,三相五線制~ AC 380V

工作環(huán)境濕度:10℃~ 40℃

工作環(huán)境溫度:≤50%

冷卻循環(huán)水:0.2m3/h,水溫18℃~ 25℃

水壓:0.15MPa ~ 0.25MPa

真空性能

極限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

設(shè)備總體漏放率:關(guān)機(jī)12小時,≤10Pa

操作方式

手動、半自動


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