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硅管，硅質(zhì)內(nèi)外管，應(yīng)用高溫爐內(nèi)，晶圓進(jìn)行高溫工藝、沉積工藝的區(qū)域。直拉單晶材料，純度較高，具有成熟的加工和清洗工藝。
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