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8-12寸硅舟
8-12寸硅舟

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型號

8-12寸硅舟

品牌

盾源聚芯

產(chǎn)地

寧夏

樣本

暫無
寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司(富樂德)

會員

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第2年

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技術(shù)優(yōu)勢

1.可進(jìn)行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計,包括溝棒形狀,溝齒長度、形狀、傾斜角度,以及硅舟的總載片量。

2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,提升制程良率。

3.熔接硅舟可以對損壞部件進(jìn)行更換,降低持有成本。

4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,可以有效減少設(shè)備PM頻率,提升產(chǎn)能。


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