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用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來研究樣品NTEGRA Spectra 在檢測(cè)樣品時(shí)，通過掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率。支持兩種不同的SNOM方式：光纖式SNOM和懸臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。
所有SNOM的信號(hào)都可以被檢測(cè)：激光強(qiáng)度，熒光強(qiáng)度，光譜信號(hào)等。
SNOM刻蝕：矢量式，光柵式。
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