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本儀器由一測(cè)量頭和一轉(zhuǎn)向棱鏡組成，用于圓柱形工件的非接觸測(cè)量三維表面輪廓和微觀結(jié)構(gòu)測(cè)量，適合在研究，開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中使用。測(cè)量頭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單精巧，可以提供**的長(zhǎng)向和橫向分辨率。它相對(duì)免維護(hù)和方便自動(dòng)測(cè)量的功能使其適合在生產(chǎn)過(guò)程使用。適于在很短時(shí)間間隔內(nèi)高精度和定量測(cè)量表面粗糙度特征、氣孔、劃傷、涂層缺陷等，即可在孔內(nèi)部，也可在小的圓柱工件外表面進(jìn)行。有自動(dòng)瞄準(zhǔn)功能的測(cè)量頭安裝在一固定位置，而工件或偏光鏡移動(dòng)至與光學(xué)軸共線(xiàn)。測(cè)量區(qū)的長(zhǎng)度決定了工件或偏光鏡的驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度。這種運(yùn)動(dòng)是通過(guò)用一個(gè)單獨(dú)的提升臺(tái)實(shí)現(xiàn)的。所有部件包括測(cè)量頭，提升臺(tái)和數(shù)據(jù)采集都是由電腦控制的，可以自動(dòng)進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)根據(jù)工件直徑修正后可以以笛卡兒和極坐標(biāo)顯示，并以用戶(hù)選定的程序評(píng)估。

主要用途：

◆ 小的圓拄和襯套工件內(nèi)外表面三維輪廓測(cè)量

◆ 涂層質(zhì)量控制

◆ 探測(cè)識(shí)別孔的外表面

主要特點(diǎn)：

◆ 非接觸高精度測(cè)量

◆ 在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)和線(xiàn)上使用

◆ 相對(duì)免維護(hù)

◆ 適合產(chǎn)品研究開(kāi)發(fā)的理想儀器

◆ 垂向（對(duì)被測(cè)物而言是徑向）分辨率可達(dá)1nm

◆ 橫向（對(duì)被測(cè)物而言是軸向）分辨率可達(dá)10µm

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊、耐用

主要優(yōu)點(diǎn)

◆ 快速，非接觸精密測(cè)量小孔和圓柱形工件的微觀結(jié)構(gòu)，粗糙度，加工標(biāo)記，缺陷，劃傷和圓柱形工件的外表面三維特征數(shù)據(jù)

◆ 笛卡兒坐標(biāo)或者極坐標(biāo)

◆ 測(cè)量和評(píng)估物體特定表面特征，包括涂層和磨損

技術(shù)數(shù)據(jù)：