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德國BMT WLI VLA干涉儀

德國BMT WLI VLA干涉儀可快色準確的測量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓?？捎糜跍y量平整度、波紋度、扭曲、臺階高度和多種其他表面特性。

產品特點：

•粗糙和鏡面反射表面的微觀測量

•平整度和輪廓測量

•測量結果不受樣品的顏色和材料影響

•測量時間短，數(shù)秒完成

•測量范圍大

•快速分析表面結構

•非常小巧

•自動獲取數(shù)據(jù)并評估進行

•可定制各種配置

•幾乎免維護

技術參數(shù)：

•光源 LED

•測量范圍 （mm) 15

•垂直分辨率（nm） ≥1

•橫向分辨率（μm） 20-80

•測量面積 （mm） 10×10— 40×40

•工作距離 （mm) 24

•數(shù)碼相機＜14位（Pixel） 1280×1024