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MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡
MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡

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產(chǎn)地

法國

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暫無
先鋒科技(香港)股份有限公司

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MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡

Alpao變形鏡是一款使用電磁驅(qū)動器的高速、高線性度和大波前調(diào)制量的連續(xù)反射面變形鏡,小巧緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計配合Alpao優(yōu)異的自適應(yīng)系統(tǒng)控制算法,能夠很好地滿足快速、準(zhǔn)確的波前校正需求。

MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡核心特點:

l 可修正低級次大相差

l 可修正高級次相差

l 高達(dá)80μm PtV大波前調(diào)制量(>120μm可選)

l 相鄰驅(qū)動器調(diào)制量>5μm PtV

l 高分辨率波前畸變校正

l 500μs快速響應(yīng)

l 優(yōu)于97%的高線性度

l 優(yōu)于±1%的高穩(wěn)定性

l 高品質(zhì)鍍膜

l ±1V低電壓驅(qū)動電路

l 平均功耗<10W

l 體積小巧,安裝方便

MEMS連續(xù)表面可變形反射鏡型號及參數(shù):

Model

DM69

DM88

DM97-08

DM97-15

DM241

DM277

DM468

DM820

Number of actuators

69

88

97

97

241

277

468

820

Pupil diameter

10.5 mm

20.0 mm

7.2 mm

13.5 mm

37.5 mm

24.5 mm

33.0 mm

45.0 mm

Pitch

1.5 mm

2.5 mm

0.8 mm

1.5 mm

2.5 mm

1.5 mm

Maximum mirror best flat in close loop

7.0 nm RMS (no print through effects)

Minimum tip/tilt stroke (PV, wavefront)

60 μm

40 μm

80 μm

60 μm

40 μm

15 μm

Minimum focus/astig. stroke (PV, wavefront)

40 μm

30 μm

40 μm

40 μm

30 μm

10 μm

Minimum 3x3 stroke (PV, wavefront)

> 25 μm

> 10 μm

Maximum settling time (at +/-1 0%)

800 μs

1.6 ms

800 μs

1.6 ms

500 μs

Minimum bandwidth*

> 750 Hz

> 400 Hz

> 750 Hz

> 400 Hz

> 2 000 Hz

Minimum frequency at phase lag of 45°

> 500 Hz

> 300 Hz

> 500 Hz

> 300 Hz

> 1 500 Hz

Hysteresis error

<2%

Nonlinearity error

<3%

Coating*

銀膜R>96.5%@0.5μm~2μm

Operating temperature

-10 to 35°C

備注*:帶寬及反射膜均可根據(jù)客戶實際需求定制。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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