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橢偏儀
橢偏儀

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美國

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杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司

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SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。波長范圍200-900nm。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,分辨率0.1nm,測量時間5-15秒,并且折射率測量可達(dá)0.005%。

配置說明

波長范圍: 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選)
光學(xué)分辨率: 4.0 nm FWHM
測量精度: 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角: 70°
膜厚: 單透明膜1-5000 nm
光點尺寸: 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選)
采樣時間: 3-15s (*小)
動態(tài)記錄: 3 seconds
機(jī)械公差 (height): +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
膜層數(shù): 至多32層
參考: 不用
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