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了樣品尺寸從5-300mm的完整2D和3D功函數(shù)
平面圖。功函數(shù)解析度小于3meV。硬件掃
描轉(zhuǎn)換臺(tái)分辨率低于317.5 nm，掃描開爾文
探針提供可靠的、可重復(fù)的測(cè)量。
高性能法拉第和光學(xué)外殼保護(hù)我們所有的
掃描系統(tǒng)以避免快速變化的環(huán)境條件，電磁
干擾等，以至于為我們的光電效應(yīng)和表面光
電壓附加模塊提供一個(gè)**的平臺(tái)。
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