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在PA系類設(shè)備的基礎(chǔ)上，加裝晶圓專用的裝置，可以高效精確的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應(yīng)力的信息。
應(yīng)力雙折射測量儀主要特點：
操作簡單，測量速度可以快到3秒。
視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣。
更直觀的全面讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點。
具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較。
維護簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學濾片的機構(gòu)。
高達2056x2464像素的偏振相機。
SIC
藍寶石
| 項次 | 項目 | 具體參數(shù) |
| 1 | 輸出項目 | 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】 |
| 2 | 測量波長 | 520nm |
| 3 | 雙折射測量范圍 | 0-130nm |
| 4 | 測量*小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 測量重復精度 | <1nm（西格瑪） |
| 6 | 視野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（標準） |
| 7 | 選配鏡頭視野 | 不適用 |
| 8 | 選配功能 | 實時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實現(xiàn)外部控制 |
暫無數(shù)據(jù)！
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