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儀器簡(jiǎn)介：

JEM-ARM200F的電子光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配備了一體化的球差校正器， 其掃描透射像分辨率(STEM-HAADF)達(dá)到了0.08nm，為商用透射電子顯微鏡分辨率的世界之*。

保證0.08nm的世界**STEM (HAADF) 分辨率

ARM200F為電子光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配備了一體化球差校正器，電氣和機(jī)械性能的穩(wěn)定性也達(dá)到極限水平， 使掃描透射像(STEM-HAADF)分辨率達(dá)到0.08nm， 成為商用透射電子顯微鏡中的世界之*。電子束在像差校正之后， 束流密度比傳統(tǒng)的透射電子顯微鏡高出一個(gè)數(shù)量級(jí)。因?yàn)槭鞲粮?xì)、電流密度高， ARM200F能夠在進(jìn)行原子水平分析的同時(shí)， 還能縮短檢測(cè)時(shí)間和提高樣品處理能力。

電氣穩(wěn)定性的提高

要達(dá)到原子水平的分辨率， 控制電子光學(xué)系統(tǒng)的電源需要穩(wěn)定。ARM200F把高壓和物鏡電流變動(dòng)降低到傳統(tǒng)透射電子顯微鏡50%， 大幅度地提高了電氣的穩(wěn)定性。

機(jī)械穩(wěn)定性的提高

照射系統(tǒng)和成像系統(tǒng)采用像差校正器，實(shí)現(xiàn)原子水平的分析和成像，需要控制原子水平的振動(dòng)和變形。 ARM200F整體機(jī)械強(qiáng)度比傳統(tǒng)透射電子顯微鏡增大兩倍，通過(guò)增大鏡筒尺寸，提高了剛度，優(yōu)化了操作臺(tái)結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了機(jī)械的穩(wěn)定性。

高擴(kuò)展性的STEM 分析能力

暗場(chǎng)檢測(cè)器因STEM檢測(cè)角度的不同有兩種類型(其中一種為標(biāo)配)， 它和明場(chǎng)檢測(cè)器(標(biāo)準(zhǔn)配備)， 背散射電子檢測(cè)器 (選配件) 可以同時(shí)安裝。新的掃描成像獲取系統(tǒng)能夠同時(shí)收集4種不同類型的信號(hào)， 可以同時(shí)觀察這4種圖像。

環(huán)境對(duì)策

裝置設(shè)置室的溫度變化和雜散磁場(chǎng)也能引起原子水平的振動(dòng)和變形。為降低外部影響，ARM200F特別標(biāo)配了熱屏蔽和磁屏蔽系統(tǒng)。另外，對(duì)鏡筒加外売覆蓋以免受周?chē)諝鈱?duì)流所引起的鏡筒表面溫度變化的影響。

用于成像系統(tǒng)的球差校正器 （選配件）

使用選配的成像系統(tǒng)球差校正器， 透射電子顯微鏡的圖像(TEM)分辨率能提高到0.11 nm。

JEM-ARM200F 規(guī)格

分辨率
掃描透射像1)	0.08 nm2) (加速電壓為200kV時(shí))
透射像 點(diǎn)分辨率 線分辨率	0.19 nm (加速電壓為200kV時(shí)) 0.11 nm （使用成像系統(tǒng)球差校正器3)， 加速電壓為200kV時(shí)) 0.10 nm

放大倍率
掃描透射像	200 至 150，000，000x
透射像	50 至 2，000，000x
電子槍	肖特基場(chǎng)發(fā)射槍
加速電壓	80 至 200 kV4)

樣品臺(tái)
樣品臺(tái)	全對(duì)中側(cè)插式測(cè)角臺(tái)
樣品尺寸	直徑3mm
樣品傾斜角	**25°(使用雙傾臺(tái))
移動(dòng)范圍	X/Y:±1.0mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))

球差校正器
照明系統(tǒng)的球差校正器(STEM)	標(biāo)準(zhǔn)配置
成像系統(tǒng)的球差校正器(TEM)	選配件
選配件	能譜儀(EDS) 電子能量損失譜儀 (EELS) CCD 相機(jī)等

1. 使用HAADF (高角度環(huán)形暗場(chǎng))檢測(cè)器

2. 測(cè)試標(biāo)樣Ge(112)情況下保證.

3. 選配件

4. 標(biāo)準(zhǔn)電壓: 120 kV， 200 kV

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