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分辨率 | |
掃描透射像1) | 0.08 nm2) (加速電壓為200kV時(shí)) |
透射像 點(diǎn)分辨率 線分辨率 | 0.19 nm (加速電壓為200kV時(shí)) 0.11 nm (使用成像系統(tǒng)球差校正器3), 加速電壓為200kV時(shí)) 0.10 nm |
放大倍率 | |
掃描透射像 | 200 至 150,000,000x |
透射像 | 50 至 2,000,000x |
電子槍 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射槍 |
加速電壓 | 80 至 200 kV4) |
樣品臺(tái) | |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中側(cè)插式測(cè)角臺(tái) |
樣品尺寸 | 直徑3mm |
樣品傾斜角 | **25°(使用雙傾臺(tái)) |
移動(dòng)范圍 | X/Y:±1.0mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)) |
球差校正器 | |
照明系統(tǒng)的球差校正器(STEM) | 標(biāo)準(zhǔn)配置 |
成像系統(tǒng)的球差校正器(TEM) | 選配件 |
選配件 | 能譜儀(EDS) 電子能量損失譜儀 (EELS) CCD 相機(jī)等 |
2. 測(cè)試標(biāo)樣Ge(112)情況下保證.
3. 選配件
4. 標(biāo)準(zhǔn)電壓: 120 kV, 200 kV
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