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通過半浸沒物鏡進行高分辨率觀察和分析

半浸沒式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細；浸沒式（in-lens）肖特基場發(fā)射電子槍壽命長，能獲得穩(wěn)定的電流，這兩者的結合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。

通過柔和光束，以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面

通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以能量為數百電子伏的入射電子束對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現(xiàn)的。

高性能電子光學系統(tǒng)能進行快速、高精度的分析

電子光學系統(tǒng)采用了High Power Optics（高性能電子光學系統(tǒng)）。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。