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Phasics利用其四波橫向剪切干涉技術(shù)，在紫外波前測(cè)量提供了較好的解決方案。它有非常高空間分辨率（250x250測(cè)量點(diǎn)）和在190-400nm范圍具有高靈敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全適用于光學(xué)元件的特性（用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…）和表面檢查（透鏡和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。
SID4-UVHR 光學(xué)器件測(cè)量自適應(yīng)光學(xué)
特點(diǎn)：
由于其獨(dú)特的**技術(shù)技術(shù)，Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn)：
1.超高分辨率：250x250測(cè)量點(diǎn)
2.高靈敏度：0.5nm
3.通光孔徑大：8*8mm
4.直接測(cè)量：光學(xué)元件和表面質(zhì)量
應(yīng)用：
SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應(yīng)用：
紫外激光器：光束測(cè)試與校正
光學(xué)測(cè)量：UV光學(xué)測(cè)試（半導(dǎo)體…）和表面測(cè)量
SID4-UVHR產(chǎn)品參數(shù)：
波長(zhǎng)范圍 | 190 - 400 nm |
通光孔徑 | 8 x 8 mm2 |
空間分辨率 | 32 μm |
采樣點(diǎn)（相位/強(qiáng)度） | 250 x 250 (> 62 500 points) |
相位相對(duì)靈敏度 | 0.5 nm RMS |
相位精度 | 10 nm RMS |
動(dòng)態(tài)范圍 | ~ |
采樣頻率 | > 30 fps |
實(shí)時(shí)分析頻率 | 1 fps (full resolution) |
數(shù)據(jù)接口 | Giga Ethernet |
尺寸(w x h x l) | 95 x 105 x 184 mm |
重量 | ~900 g |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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