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測(cè)量精度高；方便快捷地分析樣品的表面形貌和粗造度；分辨率高，景深大，清晰觀(guān)察不同焦平面上的圖像信息；共焦切層，三維重組，多角度觀(guān)察；對(duì)不同時(shí)間，不同位置的圖像進(jìn)行無(wú)縫拼接，再現(xiàn)性強(qiáng)；可獲得亞微米級(jí)的線(xiàn)寬、面積、體積、臺(tái)階、線(xiàn)與面粗造度，透明膜厚等幾何參數(shù)測(cè)量數(shù)據(jù)。
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