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美國(guó)PIE公司出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀， 可清洗各種類(lèi)型電子或者離子顯微鏡，深紫外光刻機(jī)，電子光刻系統(tǒng)等真空儀器。一個(gè)儀器同時(shí)清洗真空腔體和樣品。

本儀器由一個(gè)LCD觸摸屏控制器和一個(gè)遠(yuǎn)程射頻（RF）等離子源組成，遠(yuǎn)程等離子源通過(guò)一個(gè)KF40真空法蘭連接到待清洗真空室，有轉(zhuǎn)接法蘭提供。主要用于清洗各種掃描電鏡(SEM)，透射電鏡(TEM)，聚焦離子系統(tǒng)(FIB)，離子顯微鏡(HIM)等真空系統(tǒng)中碳?xì)浼捌渌廴尽Ｍ瑫r(shí)清洗真空腔體和樣品。

特有功能

優(yōu)越的等離子技術(shù)，可以在小于0.1毫托的氣壓下點(diǎn)火并且保持穩(wěn)定的等離子體。*低工作氣壓比其他同類(lèi)產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度更快，更均勻，對(duì)電子槍和分子泵更安全；

即時(shí)等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類(lèi)產(chǎn)品上那樣擔(dān)心等離子是不是成功起輝；

帶氣壓計(jì)的自動(dòng)氣體流量控制；

等離子探針實(shí)時(shí)測(cè)量等離子強(qiáng)度，用戶可以根據(jù)這個(gè)實(shí)時(shí)反饋來(lái)優(yōu)化清洗配方；

自動(dòng)射頻匹配實(shí)時(shí)保證**化射頻耦合，即使用戶調(diào)節(jié)清洗配方；

**保護(hù)的雙層顆粒過(guò)濾器設(shè)計(jì)保證我們的產(chǎn)品滿足Intel，臺(tái)積電，三星等半導(dǎo)體用戶的嚴(yán)格顆粒污染要求；

帶LCD觸摸屏的直觀操作界面；

微電腦控制器帶可修改的智能清洗計(jì)劃，設(shè)好就自動(dòng)清洗您的系統(tǒng)；

支持清洗配方，一鍵開(kāi)始，自動(dòng)射頻匹配，自動(dòng)控制氣體流量；

微電腦控制器記錄所有信息狀態(tài)，便于系統(tǒng)維護(hù)。

技術(shù)指標(biāo)

等離子源真空接口: NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭；

標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器；

等離子源*低點(diǎn)火起輝氣壓：<0.1毫托；

等離子源**工作氣壓: >1.0 托；

漏氣率: <0.005sccm；

射頻輸出: 0~100瓦，連續(xù)可調(diào)節(jié)；

具有射頻自動(dòng)匹配功能