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PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜，實(shí)時(shí)監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計(jì)算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果，可反饋控制等離子體的發(fā)生，從而獲得**的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測量等離子體鍍膜沉積情況，監(jiān)測等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應(yīng)腔控制情況，監(jiān)測異常污染排放現(xiàn)象，磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測和控制優(yōu)化。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)基本性能：

●測量范圍：測量發(fā)射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數(shù)

●光譜范圍：200-1100nm

●探測器：2048像素CCD

●光譜分辨率：1nm

●A/D轉(zhuǎn)換：14位

●通訊方式：USB1.1

●供電方式：直流12V；1.25A

●應(yīng)用場合：等離子體鍍膜沉積/等離子體監(jiān)測/安全監(jiān)控/反映過程優(yōu)化/終點(diǎn)測量

◆PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件

-實(shí)時(shí)在線監(jiān)測等離子過程的發(fā)射光譜

-監(jiān)測和控制的雙屏幕技術(shù)

-8數(shù)字量輸入/輸出；4模擬量輸出

-終點(diǎn)、啟動、停止及限位的信息音提示

◆備選附件

-SpecLine Software：峰值查找和譜線辨別

-UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖

-COL-UV-6 & COL-UV-30準(zhǔn)值透鏡

-VFT真空接管

-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法蘭接頭