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“狹縫涂布精密成膜裝備系統(tǒng)”是一個(gè)高端先進(jìn)制造業(yè)項(xiàng)目，其成膜技術(shù)可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜，在許多光電領(lǐng)域，如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等，有著非常廣泛的應(yīng)用。

從研發(fā)用150mm平臺(tái)到6代線(xiàn)，為用戶(hù)提供靈活多變的配置方案。不僅用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等，還可以用于有機(jī)太陽(yáng)能電池OPV和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池PVK等成卷基材的涂布，也應(yīng)用于非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布。

狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片涂布模具相對(duì)于基片精確地運(yùn)動(dòng)，并精確檢測(cè)控制工藝流體及其涂布速度。

優(yōu)勢(shì)

可涂布不同粘度的各種材料

涂布厚度范圍廣泛:從20nm到150μm以上

很好的涂布一致性:通常優(yōu)于±3%

效率高/材料利用率高:材料利用率可達(dá)95%

能夠滿(mǎn)足不同需求：從研發(fā)到小批量試制、大量生產(chǎn)

工藝具有高的可靠性和魯棒性:良率可達(dá)到95%

適用于S2S和R2R加工模式

在一個(gè)工藝周期內(nèi)可實(shí)現(xiàn)矩形陣列的涂布加工

過(guò)程參數(shù)

涂布間隙控制：動(dòng)態(tài)控制涂布頭高度 (z軸)

模具運(yùn)動(dòng)控制: 在涂布方向上(x軸)精確控制模具的運(yùn)動(dòng)軌跡(包括加速和減速參數(shù))

模具設(shè)計(jì): 針對(duì)高一致性、化學(xué)兼容性、低充填容量和條狀涂布進(jìn)行模具設(shè)計(jì)制造

涂布控制: 涂布速率(穩(wěn)態(tài)涂布) 和涂布輪廓 (前后邊緣)的高精度數(shù)字化控制

控制軟件: 所有配方參數(shù)，數(shù)據(jù)監(jiān)控和反饋控制，數(shù)據(jù)采集分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

平板顯示

LCD， OLED， Flexible， Touch Screen

LCD， OLED， 柔性顯示， 觸摸屏

太陽(yáng)能光伏

PV including CIGS， CdTe， OPV and C-Si

固態(tài)照明

OLED lighting

高附加值玻璃

可調(diào)光智能玻璃， 博物館用玻璃

半導(dǎo)體， 微機(jī)電系統(tǒng)， 無(wú)線(xiàn)射頻識(shí)別， 聚合物電池， 和各種有機(jī)及打印電子器件