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PCE-8等離子清洗機
PCE-8等離子清洗機

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產地

遼寧

樣本

暫無
沈陽科晶自動化設備有限公司

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PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為Φ8.5 "×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

主要特點

1、采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

2、內部配有0-500mm/min的質量流量計,可以精確地控制進氣流量

技術參數(shù)

1、電源:AC220V

2、射頻功率:**100W,可在0-100W間調節(jié)

3、真空泵功率:<500W

4、總功率:<600W

5、射頻:13.56MHz

6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑Φ8.5 ",內徑Φ8.2 ",長12",采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封,法蘭設有一個

Φ60mm的觀察窗口

7、極限真空度:50mtorr

8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2Ar、AirH2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質所定)

清洗及蝕刻

產品規(guī)格

尺寸:620mm×450mm×600mm

標準配件

1、直連式雙旋真空泵(240L/min

2KF25波紋管

3、KF25手動擋板閥

可選配件

1、300W、600W射頻電源(進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗)

22-6″石英舟(盛放基片)

3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

4、2-4通道質子混氣系統(tǒng)

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