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PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為Φ8.5 "×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
主要特點
1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。
2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。
技術參數(shù)
1、電源：AC220V
2、射頻功率：**100W，可在0-100W間調節(jié)
3、真空泵功率：<500W
4、總功率：<600W
5、射頻：13.56MHz
6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Φ8.5 "，內徑Φ8.2 "，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封，法蘭設有一個
Φ60mm的觀察窗口
7、極限真空度：50mtorr
8、通入氣體：可通入多種氣體，如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質所定）
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：620mm×450mm×600mm
標準配件
1、直連式雙旋真空泵（240L/min）
2、KF25波紋管
3、KF25手動擋板閥
可選配件
1、300W、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗）
2、2″-6″石英舟（盛放基片）
3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)
4、2-4通道質子混氣系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù)！
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