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XYZ軸壓電平臺
XYZ軸壓電平臺

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產地

法國

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科藝儀器有限公司

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壓電平臺XY200M沿X,Y和Z軸的行程為200 μm,**可以承受3kg的負載。應用領域包括共焦微鏡,掩膜定位和檢測。這種平臺基于APA200M設計,具有很高的硬度。平臺可以配備精度高達10nm的應變計或渦流傳感器。平臺沿X,Y和Z軸的轉動非常小。移動外框可根據要求定制。

這種結構要求驅動器的前兩個通道為推拉式。

參數

單位

XYZ200M

型號

V-XYZM200

備注

-

傳感器

SG,ECS

主動軸

TX,TY,TZ

**空載位移[Tx,Ty]

um

180

Z方向**面外位移

um

200

Z方向的**轉動

urad

240

XY方向的**轉動

urad

50

電壓范圍

V

-20…150

硬度

N/um

0.66

高度(Z 軸)

mm

44.0

尺寸(X&Y 軸)

mm

100*100

分辨率

nm

1.8

質量

g

540

空載共振頻率(在致動方向)

Hz

380

響應時間

ms

1.32

電容(每個電氣接口)

uF

6.30

機械接口(有效負載)

物鏡接口**4/55 *1.36(指定)

機械接口(框架)

4 Ф4.5mm 孔 []84

電氣接口

3 RG178B/U 同軸電纜

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10分

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10分

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