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時(shí)間分辨精細(xì)陰極熒光分析系統(tǒng)

SEM-CL時(shí)間分辨精細(xì)陰極熒光分析系統(tǒng)是由瑞士attolight公司設(shè)計(jì)并制造的，并獲得R&D top100 創(chuàng)新大獎(jiǎng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

– LED的性能和可靠性

– GaN功率晶體管

– 線位錯(cuò)密度(TDD)

– 載流子壽命測試和動(dòng)力學(xué)

– 晶體缺陷研究

– 太陽能電池的效率

– 納米尺度光電器件的研發(fā)

– 寬禁帶半導(dǎo)體研究

設(shè)備特點(diǎn)

• 可實(shí)現(xiàn)定量測量的陰極熒光分析系統(tǒng)SEM-CL

• 300μm直徑的視場

• 優(yōu)于10nm的空間分辨率

• 10ps的時(shí)間分辨率

• Schottky場發(fā)射槍（連續(xù)系統(tǒng)）和皮秒脈沖光電槍（時(shí)間分辨模式）

• 樣品溫度范圍：20K-300K，位移精度1nm

高性能光學(xué)與SEM系統(tǒng)：

簡單易用，大視野，高分辨

Attolight SEM-CL系統(tǒng)自帶有集成了光鏡的掃描電子顯微鏡（10nm空間分辨率）。光鏡被嵌入在掃描電鏡的電子物鏡，使兩者的視場相互匹配。獲取陰極熒光圖從未如此簡單：無需調(diào)準(zhǔn)光路，光鏡的存在幫助完成了樣品定位。系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，在不犧牲掃描電鏡性能的同時(shí)獲得了優(yōu)越的陰極熒光性能。它提供了一個(gè)優(yōu)秀的光學(xué)光圈 (f/0.5)，和在整個(gè)視場范圍內(nèi)恒定的高光子收集效率。同時(shí)，它工作在低電子束的能量范圍內(nèi) (3-10kV)，可獲得更高分辨的陰極熒光圖。

Schottky場發(fā)射電子槍和皮秒脈沖光電子槍：

連續(xù)工作模式和時(shí)間分辨工作模式

電子槍類型是決定電鏡性能的重要參數(shù)。attolight SEM-CL采用特殊設(shè)計(jì)的肖特基（Schottky）場發(fā)射電子槍，提供高亮度高相干的電子束，在樣品上產(chǎn)生的熒光空間分辨率好于10nm。

Attolight SEM-CL系統(tǒng)同時(shí)具有時(shí)間分辨選項(xiàng)的陰極熒光分析系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)10ps時(shí)間分辨率。時(shí)間分辨的陰極熒光分析系統(tǒng)將是研究光電材料載流子動(dòng)力學(xué)和壽命的**工具。

定量測量陰極熒光發(fā)光

Attolight SEM-CL系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)定量測量不同樣品的陰極熒光發(fā)光。受益于獨(dú)特的設(shè)計(jì)，它能夠甄別并發(fā)現(xiàn)超痕量雜質(zhì)，以及某些在其他成像模式下不可見的晶體缺陷的能力，為研究及開發(fā)半導(dǎo)體材料、熒光粉、陶瓷、巖石和玻璃提供了新的可能。

工作模式

• 光學(xué)顯微鏡成像

• 陰極熒光測繪（多色，單色和高光譜）

• 二次電子測繪

• 時(shí)間分辨陰極熒光（時(shí)間分辨選項(xiàng)）

• 二次電子和陰極熒光同步測繪

部分測試數(shù)據(jù)