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應(yīng)用：

◆蝕刻-半導(dǎo)體-砷化鎵等

◆蝕刻-平板顯示

◆蝕刻-微機(jī)電系統(tǒng)

◆化學(xué)氣相沉積

◆去光阻

◆化學(xué)機(jī)械研磨

技術(shù)參數(shù)：

等離子體處理中的端點(diǎn)檢測(cè)和診斷技術(shù)。將光譜轉(zhuǎn)化為信號(hào)并通過自帶軟件進(jìn)行繪制和分析，從而了解機(jī)臺(tái)的工作狀況。

可以將SD1024系列光譜儀集成到系統(tǒng)中，或配置為使用時(shí)獨(dú)立于過程的控制器，這將有助于診斷應(yīng)用程序。檢測(cè)器需要Verity的SpectraView軟件應(yīng)用程序，通過一臺(tái)獨(dú)立的應(yīng)用計(jì)算機(jī)或Verity的MTC1000多任務(wù)計(jì)算機(jī)進(jìn)行操作。運(yùn)行SpectraView軟件的應(yīng)用計(jì)算機(jī)通過USB或以太網(wǎng)通信鏈路管理光譜儀。這個(gè)應(yīng)用計(jì)算機(jī)接收來自系統(tǒng)主控計(jì)算機(jī)或處理模塊的控制命令(配方、啟動(dòng)、停止)，并根據(jù)接口的定義返回端點(diǎn)及其他事件結(jié)果。

主要特點(diǎn)：

◆等離子診斷

◆缺陷檢測(cè)

◆200-800納米

◆制程監(jiān)控

◆符合RoHS要求

◆科研級(jí)CCD

◆體積小

◆軟件功能強(qiáng)大

◆可獨(dú)立操作