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高頻等離子表面處理裝置
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-500W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 一體成型鋁制腔體，腔體材質(zhì)結(jié)實(shí)可靠而且無(wú)需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護(hù)
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備自我診斷功能，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)警等安全功能。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●DP和RIE模式標(biāo)準(zhǔn)配備即可利用等離子的化學(xué)性質(zhì)又可以有效利用
其物理性質(zhì)，工藝應(yīng)用范圍更加廣泛。。
●原則上所有材質(zhì)的樣品都可以進(jìn)行清洗，對(duì)清洗樣品材質(zhì)沒有要求。
●液晶觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)單方便。
●標(biāo)準(zhǔn)配備產(chǎn)生等離子均勻性很好的平行平板電極。
●標(biāo)準(zhǔn)裝備多種安全功能，安全措施綿密。
■用途
●CSP\BGA\COB基板等離子清洗
●去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝
■構(gòu)成圖
■規(guī)格
型號(hào) | PDC510 | |
方式 | RIE模式/DP模式 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-500W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動(dòng)匹配（Auto matching） | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 一體成型鋁制腔體 |
腔體內(nèi)尺寸： | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸： | W400×D200 | |
反應(yīng)氣體： | 二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體 | |
控制顯示方式： | 液晶觸摸屏、全自動(dòng)控制 | |
真空度顯示： | 數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度。 | |
反應(yīng)氣體流量控制： | MFC 質(zhì)量流量計(jì) | |
門： | 鉸鏈門帶觀察窗 | |
外形尺寸： | W700×D700×H1285mm | |
真空泵： | 干式真空泵 NEODRY 36E（油泵可選） | |
真空泵抽速： | 36m3/h | |
電源規(guī)格： | 三相200V 8A | |
重量： | 約180kg | |
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