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儀器簡介：

NTEGRA Spectra

是一款獨(dú)特的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統(tǒng)。其強(qiáng)大的TERS效應(yīng)，可在得到拉曼光譜的同時(shí)獲得高達(dá)50nm的成像分辨率。

只有NTEGRA Spectra能在軟件、硬件等技術(shù)方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統(tǒng)提供**的方案，以便用戶能在分子水平上用不同的技術(shù)手段來分析、研究樣品。這樣的集成，能讓用戶極大的提高工作效率，將更多的時(shí)間用于數(shù)據(jù)采集和分析，而無需為繁瑣的儀器操作而苦惱。所以，可以負(fù)責(zé)任的說：真正的集成是遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于簡單的組合的。

激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統(tǒng)

NTEGRA Spectra 系統(tǒng)集成了激光掃描共焦光譜儀、光學(xué)顯微鏡和常規(guī)的掃描探針顯微鏡。該系統(tǒng)能用于發(fā)光光譜和拉曼散射的三維成像、所有的SPM功能，包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等。.

掃描探針顯微鏡

除了光學(xué)檢測外，NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來研究樣品，諸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力譜等等。這樣獨(dú)特的集成了光學(xué)方法和掃描探針方法合二為一的系統(tǒng)，為用戶完成復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)變成可能，用戶可從實(shí)驗(yàn)中得到樣品的光學(xué)分布信息、化學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)和磁學(xué)性質(zhì)等。

用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來研究樣品

NTEGRA Spectra 在檢測樣品時(shí)，能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率。近場光學(xué)顯微鏡和TERS系統(tǒng)能讓用戶得到光學(xué)性質(zhì)分布圖（激光傳輸、散射和偏振等）的同時(shí)獲得拉曼散射光譜和高達(dá)50nm的XY方向分辨率。

技術(shù)參數(shù)：

共聚焦顯微鏡光學(xué)模塊 正置或倒置光學(xué)顯微鏡觀測系統(tǒng)

可見光譜測量 (390-800nm)

激發(fā)光路中配置手動(dòng)式格蘭-泰勒起偏棱鏡 390-1000nm

檢測光路中配置電動(dòng)式格蘭-泰勒檢偏棱鏡 390-1000nm

三軸定位電動(dòng)式1/2波片

光束分離器

可選配倏逝激發(fā)系統(tǒng)（用于TERS）

光學(xué)分辨率 XY： 200nm

Z：500nm

掃描模塊 **樣品質(zhì)量：1000g

**掃描范圍：100x100x25 um

XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)

XY方向非線性度：0.03 % （典型值）

Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）

XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）

共聚焦針孔 直徑0~1.5mm可調(diào)，步進(jìn)0.5 um

注：無論樣品是否透明，都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環(huán)境中對(duì)其進(jìn)行研究。

拉曼光譜儀

光譜儀焦長 520 mm

激光器波長* 441， 488， 514， 532， 633 nm

雜散光抑制 10^-5，（20nm 用632nm激光器 ）

平場面積 28 mm x 10 mm

光譜分辨率 0.025 nm (1200 l/mm光柵**)

端口 1輸入，2輸出

光柵座 4孔轉(zhuǎn)盤（3 個(gè)光柵+“直接成像”模式用的反射鏡）

探測器 CCD：光譜響應(yīng)范圍：200–1000 nm，電冷裝置冷卻至–80°C，500nm時(shí)95% 量子效率

用于光子計(jì)數(shù)的APD***：光譜相應(yīng)范圍：400–1000 nm，暗計(jì)數(shù)=25/秒，提供高達(dá)1GHz計(jì)算速度的PCI 卡。 * 標(biāo)準(zhǔn)配置中包括一套488 nm激光器，其他波長激光器可選配

** 可選配其他光柵。小階梯光柵具有**的光譜分辨率

***可選用PMT

掃描近場光學(xué)顯微鏡

功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，熒光模式（選配）

激光模塊 耦合裝置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um

V型槽光纖固定器

裝配40x物鏡

光纖傳輸系統(tǒng) KineFlex^TM

光束衰減器：可配多種減光鏡

剪切力成像 樣品尺寸：**直徑100mm，**厚度15mm

XY二維樣品移動(dòng)平臺(tái)：樣品定位范圍5x5mm，樣品定位精度5um

XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)

樣品掃描式 針尖掃描式

掃描范圍 100x100x25 um 100x100x7 um

非線性度 XY 0.03 %（典型值） <0.15%

噪音水平 Z <0.2 nm（典型值） 0.04nm（典型值），<=0.06nm

噪音水平 XY <0.5 nm（典型值） 0.2 nm（典型值），<=0.3 nm

石英音叉基頻 190 kHz

光纖孔徑 <100nm

可同時(shí)采集的數(shù)據(jù)通道 反射模式

透射模式/熒光模式

PMT 光譜響應(yīng)范圍：185-850 nm

靈敏度：3x10¹⁰，420 nm時(shí)

隔振系統(tǒng) 主動(dòng)式：0.7-1000 Hz

被動(dòng)式：大于1 kHz

掃描探針顯微鏡

功能模式：AFM（接觸+半接觸+非接觸）/側(cè)向力模式/相位成像模式/力調(diào)制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴(kuò)展電阻成像模式/刻蝕：AFM（力和電流）

樣品尺寸* **直徑100mm，**厚度15mm

掃描范圍 50x50x5 um

閉環(huán)控制系統(tǒng)** XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)，采用電容傳感器

非線性度 XY <0.15%

噪音水平 Z 0.06 nm（典型值），<=0.07nm

噪音水平 XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um)

*掃描頭部可單獨(dú)使用，此時(shí)對(duì)樣品尺寸和重量無限制

**內(nèi)置的電容傳感器擁有極低的噪音水平，即使降到50x50 nm的區(qū)域也可以用閉環(huán)控制來掃描

主要特點(diǎn)：

AFM探針和激光光斑**的同步協(xié)調(diào)。AFM探針可在納米級(jí)的精度上定位于激光光斑中—在TERS中，這是必要的條件。在激光掃描和樣品掃描的6個(gè)軸中，全部采用全量程閉環(huán)控制系統(tǒng)。

高數(shù)值孔徑的光學(xué)物鏡和SPM系統(tǒng)緊密的集成在一起，讓系統(tǒng)的光學(xué)穩(wěn)定性達(dá)到****的高度—為長程和微弱的信號(hào)而設(shè)計(jì)。

反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。

電冷至-70°C的CCD，用于光譜探測和成像。

也可選用APD來進(jìn)行光子計(jì)數(shù)。

在激發(fā)通道和檢測通道中，用戶可靈活方便的配置偏光光路。

多功能的集成軟件控制系統(tǒng)，所有的系統(tǒng)模塊包括AFM、光路系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)都由統(tǒng)一的軟件來控制。激光器、光柵、針孔等等，都可由軟件來切換或調(diào)節(jié)。

NT-MDT可根據(jù)用戶需求定制不同使用需求的TERS系統(tǒng)。