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透射電子顯微鏡原位-原子尺度雙傾力學(xué)測試系統(tǒng)
透射電子顯微鏡原位-原子尺度雙傾力學(xué)測試系統(tǒng)

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INSTEMS系列為用戶提供了7種原位TEM實(shí)驗(yàn)平臺。其中包含三種單外場施加平臺,三種雙外場耦合平臺和一種三外場耦合平臺。三種單外場產(chǎn)品為INSTEMS-M(力學(xué)加載)、INSTEMS-E(電學(xué)加載)和INSTEMS-T(熱場加載);三種雙外場耦合產(chǎn)品為INSTEMS-ME(力電耦合)、INSTEMS-TE(熱電耦合)和INSTEMS-MT(力熱耦合);一種三外場耦合產(chǎn)品為INSTEMS-MET(力熱電耦合)。

產(chǎn)品介紹:

BST-INSTEMS-M使用的MEMS集合精密的芯片結(jié)構(gòu)與壓電驅(qū)動(dòng)器,力學(xué)加載方向與雙傾臺平面平行。高精度力學(xué)驅(qū)動(dòng)(0.1nm等級驅(qū)動(dòng))與雙傾系統(tǒng)互不干擾,能在力學(xué)加載的同時(shí)穩(wěn)定的觀察高質(zhì)量原子尺寸的像。另外,可根據(jù)客戶需求配置不同結(jié)構(gòu)的芯片,滿足不同尺寸形狀不同加載模式力學(xué)實(shí)驗(yàn)要求。

突出優(yōu)勢:

1、多種力學(xué)加載模式:

拉伸/壓縮/壓痕/彎曲/沖擊/蠕變/疲勞

自動(dòng)/手動(dòng)/循環(huán)加載

牛頓級驅(qū)動(dòng)器(> 100 mN)

pm級驅(qū)動(dòng)控制

2、雙軸傾轉(zhuǎn):

α 軸傾轉(zhuǎn)**至±20°

β 軸傾轉(zhuǎn)**至±10°

3、穩(wěn)定的原子尺度成像:

極限樣品漂移<50 pm/s

空間分辨率≤0.1 nm

技術(shù)指標(biāo)

**驅(qū)動(dòng)力

> 100 mN

**驅(qū)動(dòng)范圍

4 μm

驅(qū)動(dòng)精度

< 500 pm

空間分辨率

≤0.1 nm

應(yīng)用領(lǐng)域

高強(qiáng)鋼

納米線

高強(qiáng)鋁合金

鈦合金

納米薄膜

……

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