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技術(shù)指標(biāo)及功能
廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線，是6英寸，8英寸等主力I線生產(chǎn)機臺，適用于I線光刻膠的曝光，操作簡單，曝光精度準(zhǔn)，解析力**可達0.35UM （350NM）
暫無數(shù)據(jù)！
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