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日本Nikon I線步進式光刻機NSR-I12
日本Nikon I線步進式光刻機NSR-I12

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日本

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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日本Nikon I線步進式光刻機NSR-I12

技術(shù)指標(biāo)及功能

廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線,是6英寸,8英寸等主力I線生產(chǎn)機臺,適用于I線光刻膠的曝光,操作簡單,曝光精度準(zhǔn),解析力**可達0.35UM (350NM

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