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美國(guó)SCS 旋轉(zhuǎn)涂覆儀 G3系列：

SCS 公司的 G3 系列高精度旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)是一款用于實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)的桌面式儀器，應(yīng)用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷，象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機(jī)化合物、攙雜劑、硅質(zhì)薄膜等。G3 旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)系統(tǒng)在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標(biāo)準(zhǔn)，具有很高的旋轉(zhuǎn)精度和重復(fù)精度， 擁有精度極高的加速/減速控制。

G3 系列共有 G3-8， G3P-8， G3P-12 和 G3P-15 四個(gè)型號(hào)。

G3-8: G3 系列不可編程旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)，8"旋涂盤，單一涂敷程序。

G3P-8: G3 系列可編程旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)，8"旋涂盤，可儲(chǔ)存 30 個(gè)涂敷程序，每個(gè)程序可以有 20 步。G3P-12: G3 系列可編程旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)，12"旋涂盤，可儲(chǔ)存 30 個(gè)涂敷程序，每個(gè)程序可以有 20 步。G3P-15: G3 系列可編程旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)，15"旋涂盤，可儲(chǔ)存 30 個(gè)涂敷程序，每個(gè)程序可以有 20 步。

功能及技術(shù)規(guī)格：

。 基于微處理器控制，利用前面板 LCD 顯示屏及鍵盤可快速，簡(jiǎn)單的編程。

。 閉環(huán)伺服電機(jī)控制提保證精確的速度調(diào)節(jié)。

。 使用可選的PC界面軟件通過通訊端口實(shí)現(xiàn)外部控制，包括編程、曲線儲(chǔ)存、PID、診斷、真空開/關(guān)、慢速中心定位及可編程初始位置。

。 可儲(chǔ)存 30 個(gè)曲線，每個(gè)曲線可設(shè)定 20 步（如果使用外部計(jì)算機(jī)控制，則程序存儲(chǔ)數(shù)量不限）。

。 程序可調(diào)整的旋轉(zhuǎn)增量為 1.0 轉(zhuǎn)/分，定時(shí)增量為 0.1 秒的，停留時(shí)間的增量為 1.0 秒，在每次循環(huán)中可以實(shí)現(xiàn)極高的重復(fù)精度。

。 對(duì)于可編程的機(jī)器，編碼器允許真空吸盤（卡盤）停止在初始位置。

。 在可編程的機(jī)器系統(tǒng)中包括耐化學(xué)腐蝕的特氟綸涂層的底碗和完整的排泄系統(tǒng)。

。 客戶評(píng)估的厚度均勻度范圍在±3%內(nèi)。

。 可編程的機(jī)器均標(biāo)準(zhǔn)配備聯(lián)鎖鉸鏈蓋子和安全玻璃觀察窗。

。 緊湊的結(jié)構(gòu)使其在生意通風(fēng)櫥時(shí)非常方便

。 吸盤（卡盤）旋轉(zhuǎn)速度：0-9，999 轉(zhuǎn)/分鐘

。 加速度/減速度：0.1 – 25.5 秒，0.1 秒為增量

。駐留時(shí)間：0-999 秒，0.1 秒為增量

。 點(diǎn)膠時(shí)間：1-10 秒，0.1 秒為增量

。 系統(tǒng)尺寸：11.9” H x 12” W x 16.5” D（英寸）

。 系統(tǒng)電源：115/230 VAC， 50/60 Hz， 1?

真空卡盤：

SCS 涂敷系統(tǒng)的附件夾盤可以有多種材料供客戶選擇， 包括不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)）、硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁、聚甲醛樹酯和特氟綸。吸盤尺寸由客戶制定以適應(yīng)基片尺寸。吸盤的零配件按嚴(yán)格

公差制造，從而提供異常平整、剛性的平面。交叉渦道形吸盤可以使真空壓分布在整個(gè)表面。SCS 推薦吸盤的直徑比基片直徑小 1/4 到 1 英寸。當(dāng)使用脆性基片時(shí)，吸盤應(yīng)支撐整個(gè)基片。