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美TED PELLA 108AUTO 自動(dòng)離子濺射儀 sputter coater
108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
· 自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的導(dǎo)電噴鍍效果。
· 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
· 操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
· 在自動(dòng)模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過程。
· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù) | |
樣品室大小 | 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配，Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）;大小：直徑57mmx 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，zui大電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
模擬計(jì)量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動(dòng)終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動(dòng)終止濺射過程 |
控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（0－300s），自動(dòng)放氣 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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