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德國Sentech光伏測量儀器MDPinline
一秒內(nèi)完成正片晶片掃描
MDPinline是為高速自動掃描硅晶片而設(shè)計的，它以每片不到一秒的時間記錄少子壽命的全部形貌。利用微波檢測光電導(dǎo)率定量測量少子壽命。憑借其緊湊的設(shè)計，MDPinline可以靈活地集成在傳送帶上或晶片分選系統(tǒng)中。
MDPinline是生產(chǎn)集成的高速晶片少子壽命自動掃描系統(tǒng)。在一秒鐘內(nèi)完成單晶片形貌測量。
MDPinline是一個用于定量測量少子壽命的緊湊型高速生產(chǎn)集成自動掃描系統(tǒng)。當(dāng)晶片通過傳送裝置移動到儀器下面時，一片晶片的形貌測量在一秒鐘的時間內(nèi)進(jìn)行實時測量。
MDPinline本身不使用機(jī)械移動部件，使得它在連續(xù)操作下也非?？煽?。對于每個單獨的晶片，完整形貌的獲取提供了新的方法來提高生產(chǎn)成本效益和效率。例如，在不到3小時內(nèi)獲得的10，000個晶片形貌的自動統(tǒng)計評估揭示了晶體生長爐的性能以及材料質(zhì)量的微小的細(xì)節(jié)?；趯崟r質(zhì)量和均勻性研究，諸如擴(kuò)散和鈍化之類的處理步驟可以在迄今為止不可能達(dá)到的性能的時間內(nèi)逐步增加和優(yōu)化。在運(yùn)行生產(chǎn)中，可以立即檢測到處理步驟的任何故障。另一方面，晶片銷售給用戶時，如果每個晶片都表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，則可以實現(xiàn)更高的價格，從而在不到一年的時間內(nèi)為MDPinline帶來回報。
優(yōu)勢
在不到一秒的時間內(nèi)，實現(xiàn)對一個晶片全電子晶片特性的測量。測量參數(shù)：少子壽命(全形貌)，電阻率(兩行掃描)。
迄今為止還沒有看到工藝控制、良率和工藝改進(jìn)的效率允許極快地增加新的生產(chǎn)或工藝，因為來自數(shù)千個晶片的統(tǒng)計信息是在非常短的時間內(nèi)獲得的。
適合于測量出料或進(jìn)料晶片的材料質(zhì)量，以及在晶片級別內(nèi)識別結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。適用于擴(kuò)散工藝的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。
暫無數(shù)據(jù)！
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