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SNE-4500M型掃描電鏡是韓國(guó)SEC公司研制的高分辨、自動(dòng)化、經(jīng)濟(jì)的高端型號(hào)Mini-SEM，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達(dá)10萬(wàn)倍；裝載易于使用的可變光闌，可達(dá)到5nm圖像分辨率，是臺(tái)式電鏡中分辨率**的設(shè)備；作為**一款5軸載臺(tái)的Mini-SEM， 能同時(shí)運(yùn)用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動(dòng)樣品進(jìn)行全方位分析；可通過(guò)多種掃描模式與測(cè)試工具獲得多種分析結(jié)果。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、教育、鑒定、工業(yè)、電子、環(huán)境、能源等領(lǐng)域。
儀器配置
型號(hào) | 參數(shù) | |
SEM basic | SNE-4500M | 分辨率：5nm，放大倍數(shù)：100，000倍，探測(cè)器：二次電子（SE），電壓：1到30kv，樣品臺(tái)：X，Y，R，Z，T五軸/手動(dòng)控制，真空：高 |
含 | 臺(tái)式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB，RAM緩存:4GB | |
顯示器（21.5英寸） | ||
機(jī)械泵（裝配；軟管）；SEM備用零件（燈絲，試件臺(tái)，夾具，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜 | ||
SEM Additional accessories | 背散射探測(cè)器，類型：固態(tài)4通道 | |
自動(dòng)軸控制 -Type: X，Y，R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X，Y，R(3軸)/DC型(標(biāo)配) | ||
EDS System EDS系統(tǒng) | element | 分辨率：129 電子伏 / 元素范圍：從B 到Am， 反應(yīng)區(qū)域：25mm2， C系列Si3N4窗口，軟件：TEAM（頻譜分析，圖像，多點(diǎn)，線掃描，數(shù)據(jù)記錄） |
圖1 SNE-4500M型掃描電鏡
技術(shù)參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV， 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~100，000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器（SE） | |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
載臺(tái)系統(tǒng) | 載臺(tái)運(yùn)動(dòng) | 5軸系統(tǒng) (X， Y， R， Z， T -手動(dòng)) |
X， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° | ||
Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45° | ||
* 影像偏移 : ±150μm | ||
**樣品尺寸 | 80mm（Φ）*35mm（H） | |
成像系統(tǒng) | 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散，自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)比與亮度 |
圖像格式 | BMP， JPEG， PNG， TIFF | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空（低真空可選） |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動(dòng)） | |
尺寸與重量 | 主機(jī) | 390(W)x380(D)x560(H)mm， 88kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg | |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg |
EDS(elment）介紹
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對(duì)樣品表面進(jìn)行成分分析的設(shè)備。電子束轟擊樣品表面后，可產(chǎn)生多種信號(hào)，EDS探測(cè)器通過(guò)檢測(cè)其中的特征X-Ray，進(jìn)行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式，進(jìn)行點(diǎn)、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析，并生成不同格式的結(jié)果報(bào)告。賽可所有電鏡型號(hào)都可以裝載EDS探測(cè)器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、簡(jiǎn)便。
(a) 定性定量分析
提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果，面，點(diǎn)等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析，如圖2。
- 自動(dòng)分離重疊峰值， 提供高信頼性結(jié)果。
圖2 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS圖譜
(b) 線掃（Line Scan）
根據(jù)使用者指定的直線來(lái)進(jìn)行分析，可以明顯區(qū)分各元素差異，如圖3。
圖3 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS線掃圖
(c) 面掃（Mapping）
以不同顏色區(qū)分各元素所在區(qū)域，如圖4。
圖4 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS面掃圖
自動(dòng)軸控制
在標(biāo)配的手動(dòng)控制載臺(tái)上搭載電動(dòng)控制，可以對(duì)載臺(tái)在X/Y/R三軸的移動(dòng)進(jìn)行自動(dòng)控制，使樣品移動(dòng)更簡(jiǎn)單。
用戶可以利用控制界面進(jìn)行位置移動(dòng)，在軟件中雙擊鼠標(biāo)，位置回歸中心點(diǎn)。
圖5 自動(dòng)化平臺(tái)
設(shè)備應(yīng)用展示
晶圓 (SE/10 kV/30，000x) | 氮化鎵(SE/15 kV/10，000x) |
二氧化硅（SE/20 kV/30，000x） | 氧化鋅（SE/5 kV/15，000x） |
當(dāng)前SEC SEM 4500M臺(tái)式掃描電鏡現(xiàn)貨大促，直降30W，有興趣快來(lái)電咨詢德祥！
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