參考價(jià)格
面議型號(hào)
FE-300品牌
大塚電子產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無看了膜厚量測儀 FE-300的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
特 長
薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測儀
藉由**反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000高端機(jī)種90%的強(qiáng)大功能
無復(fù)雜設(shè)定，操作簡單，短時(shí)間內(nèi)即可上手
線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)（n:折射率、k:消光系數(shù)）
測量項(xiàng)目
**反射率測量
膜厚解析（10層）
光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
產(chǎn)品規(guī)格
FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR※1 | ||
|---|---|---|---|---|
對(duì)應(yīng)膜厚 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 超厚膜型 |
樣品尺寸 | **8寸晶圓（厚度5mm） | |||
膜厚范圍 | 100nm ~ 40μm | 10nm ~ 20μm | 3μm ~ 300μm | 15μm ~ 1.5mm |
波長范圍 | 450nm ~ 780nm | 300nm ~ 800nm | 900nm ~ 1600nm | 1470nm ~ 1600nm |
膜厚精度 | ±0.2nm以內(nèi)※2 | - | ||
重復(fù)再現(xiàn)性（2σ） | ±0.1nm以內(nèi)※3 | - | ||
測量時(shí)間 | 0.1s ~ 10s以內(nèi) | |||
量測口徑 | 約φ3mm | |||
光源 | 鹵素?zé)?/p> | UV用D2燈 | 鹵素?zé)?/p> | 鹵素?zé)?/p> |
通訊界面 | USB | |||
尺寸重量 | 280（W）× 570（D）×350（H）mm，約24kg | |||
軟體功能 | ||||
標(biāo)準(zhǔn)功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析 | |||
選配功能 | 材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析 | |||
※1 請(qǐng)于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對(duì)比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si），范圍值同保證書所記載
※3 測量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si）同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。（擴(kuò)充系數(shù)2.1）
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體晶圓膜（光阻、SOI、SiO2等）
光學(xué)薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
測量范例
PET基板上的DLC膜
Si基板上的SiNx
暫無數(shù)據(jù)！
顯微分光膜厚儀“OPTM”O(jiān)PTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數(shù)k、絕對(duì)反射率的新型高精度、高性價(jià)比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有獨(dú)家專利可針對(duì)透明
Zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng)ELSZneoELSZneo是ELSZseries的最高級(jí)機(jī)型，除了在稀薄溶液~濃厚溶液中進(jìn)行zeta電位（ZetaPotential，ζ-電位）和粒徑測定之外，還能
大塚電子利用光技術(shù)，開發(fā)出各種分析測量裝置，給客戶提供尖端測量技術(shù)支持。以測量技術(shù)、應(yīng)用示例等重點(diǎn)介紹為主，定期舉辦Webinar(網(wǎng)絡(luò)研討會(huì))。
膜厚量測儀 FE-300的工作原理介紹？膜厚量測儀 FE-300的使用方法？膜厚量測儀 FE-300多少錢一臺(tái)？膜厚量測儀 FE-300使用的注意事項(xiàng)膜厚量測儀 FE-300的說明書有嗎？膜厚量測儀 FE-300的操作規(guī)程有嗎？膜厚量測儀 FE-300的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？膜厚量測儀 FE-300有現(xiàn)貨嗎？膜厚量測儀 FE-300包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
