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雪花清洗機(jī)的工作原理

雪花清洗機(jī)，又稱干冰清洗機(jī)，是一種基于二氧化碳（CO?）的清洗設(shè)備。它利用高壓將液態(tài)二氧化碳轉(zhuǎn)化為微小的雪花顆粒，這些顆粒在高速撞擊芯片表面時(shí)，能夠產(chǎn)生強(qiáng)大的物理沖擊力，有效去除表面的各種污染物，如顆粒、有機(jī)物、金屬離子等。當(dāng)-78攝氏度的干冰粒接觸到污垢表面后，會(huì)產(chǎn)生脆化爆炸現(xiàn)象，使污垢收縮及松脫。隨后，干冰粒會(huì)瞬間氣化并膨脹800倍，產(chǎn)生強(qiáng)大的剝離力，將污垢快速、徹底地從物體表面脫落，從而達(dá)到高效、安全、節(jié)能的清洗效果。

雪花清洗機(jī)在芯片制造中的作用

確保芯片封裝質(zhì)量：在芯片封裝之前，需要對(duì)芯片進(jìn)行清潔處理，以確保封裝過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生污染和缺陷，保證封裝后芯片的品質(zhì)。雪花清洗機(jī)以其高效的清洗能力和精確的控制系統(tǒng)，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量芯片的清洗工作，提高生產(chǎn)效率和良品率。

實(shí)現(xiàn)芯片回收與再利用：在芯片回收與再利用過(guò)程中，雪花清洗機(jī)可以高效地去除芯片表面的金屬、氧化物等雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)芯片的回收與再利用，降低生產(chǎn)成本。

確保光刻圖案精度：在光刻工藝前，芯片表面必須保持絕對(duì)干凈，以避免圖案畸變或缺陷。雪花清洗機(jī)能夠徹底清除表面污染物，確保光刻圖案的精度和質(zhì)量。

保護(hù)脆弱的芯片結(jié)構(gòu)：雪花清洗機(jī)的非接觸式清洗方式避免了傳統(tǒng)清洗方法中可能因摩擦、刮擦等造成的工件損傷，進(jìn)一步保障了產(chǎn)品的完整性和性能穩(wěn)定性。

雪花清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)

高精度的清潔能力：雪花清洗機(jī)的雪花顆粒尺寸極小，能夠深入晶圓表面的微小縫隙和凹陷處，徹底清除微米級(jí)乃至納米級(jí)的污染物，如顆粒、有機(jī)物、金屬離子等。這種高精度的清潔能力，為半導(dǎo)體制造工藝提供了可靠保障。

環(huán)保無(wú)污染：雪花清洗機(jī)使用的清洗介質(zhì)為液態(tài)二氧化碳，清洗過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生有害的廢液或廢氣，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。同時(shí)，清洗后的二氧化碳可以通過(guò)回收系統(tǒng)進(jìn)行循環(huán)利用，降低了運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了資源的可持續(xù)利用。

避免表面損傷：由于采用非接觸式清洗方式，雪花清洗機(jī)在去除污染物的同時(shí)，避免了對(duì)晶圓或其他半導(dǎo)體材料表面的機(jī)械損傷和化學(xué)腐蝕。這對(duì)于半導(dǎo)體制造中脆弱的芯片和精密的封裝結(jié)構(gòu)尤為重要，確保了產(chǎn)品的完整性和可靠性。

高效自動(dòng)化：雪花清洗機(jī)通常與現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)線高度集成，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化清洗。通過(guò)精確的控制系統(tǒng)和高效的清洗流程，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量晶圓的清洗工作，提高生產(chǎn)效率和良品率。