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PicoFemto透射電鏡原位MEMS液體電化學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì)，更易封裝液體。實(shí)驗(yàn)中，樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在電鏡中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測(cè)試環(huán)境。

性能指標(biāo)：

● 兼容TEM真空度；

● 液體池間隔層厚度*小100 nm；

● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個(gè)大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

● 電壓輸出**±200 V，*小分辨率±100 nV；

● 電流測(cè)量**±1.5 A，*小分辨率±100 fA；

● 恒壓或者恒流模式。

   ● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。