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XRF工作原理是用X射線轟擊樣品，樣品 受激發(fā)后產(chǎn)生X射線熒光。X射線通常把元素原子K層和L層的內(nèi)層電子打?qū)缭樱a(chǎn) 生的空穴被高能量的外層電子填補(bǔ)。補(bǔ)充到低能量軌道上的高能量電子把多余的能量以X射線熒光輻射岀來(lái)。這些輻射岀來(lái)的譜線中含有各種元素的特征。像指紋一樣，并且獨(dú)立于原子的化學(xué)價(jià)態(tài)。輻射的強(qiáng)度與樣品中該元素的濃度成正比。

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