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設(shè)備特點(diǎn)：該設(shè)備是由開啟式真空管式爐根據(jù)特殊工藝要求而設(shè)計(jì)的，其滑軌式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在實(shí)驗(yàn)過程中可滿足多種工藝要求，可將樣品直接推至實(shí)驗(yàn)所需設(shè)定高溫區(qū)，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率，滿足工藝要求對(duì)升降溫要求較高的實(shí)驗(yàn)，是一款性價(jià)比很高的產(chǎn)品，同時(shí)具有一定的可擴(kuò)展性，比較適用于二維材料，碳材料的實(shí)驗(yàn)要求。

一、技術(shù)參數(shù)：

額定功率：3kw

**溫度：1200℃

工作溫度：1100℃

建議升溫速率：10℃/min（此為爐體本身的升溫速率，通過滑動(dòng)加熱區(qū)可獲得更快的升降溫速率，溫差較大條件下可達(dá)10℃/S）

爐管：高純度石英管Φ50x1400mm

加熱區(qū)長度：440mm

恒溫區(qū)長度：200mm

控溫精度：±1℃

熱電偶：K型

管堵：石英管堵2個(gè)

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

尺寸： 1900*640*1320mm

操作界面：觸摸屏

滑動(dòng)方式：手動(dòng)

二、雙通道質(zhì)量流量控制器MFC-2Z

參數(shù)：

連接頭類型：Φ6雙卡套不銹鋼接頭。

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)：氫氣20sccm、氬氣2000sccm

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：

氣特性：1～4 Sec

電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

**壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格   截止閥：Φ6

控制軟件：該系統(tǒng)采用觸摸屏為操作元件，PLC程序與流量計(jì)精準(zhǔn)通訊，具有反應(yīng)時(shí)間短，誤差小等優(yōu)點(diǎn)。

三、 分子泵系統(tǒng)（萊寶）

分子泵型號(hào)：TURBOVAC 90i

抽速：N2 90L/S,  He 90L/S  H2 778L/S

前級(jí)泵型號(hào)：DIVAC 300

抽速：3m3/h

接口類型：DN63 ISO-K

電源：220V 50/60hz

環(huán)境溫度：5-32℃